我国的光刻机开发得怎么样了?

玲溪 2024-05-31 22:49:16
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并不是瞧不起,而是因为一台光刻机它的内部由几万个精密零件、几百个执行器传感器、千万行代码组成的超复杂思维系统,它的内部器件运动精度误差不超过一根头发丝的千分之一... 20210311
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