我国的光刻机开发得怎么样了?

Mamama_baek 2024-11-30 15:30:43
最佳回答
1990年3月,中科院光电所研制成功ioe1010g直接分步重复投影光刻机样机,工作分辨率可达1.25微米,主要技术指标接受美国gca8000型的水平,...开始全球扩张,而在这千钧一发的... 20210311
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