半导体设备领域国内哪项与国外差距最小?光刻机,刻蚀机,显影机,镀膜机,注入机?

萌宠苹果 2024-05-15 06:17:52
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刻蚀机包括干刻、湿刻!镀膜包括cvd,pvd,磁控溅射!说说国内哪个最好,各项国内处于什么水平? 参考: 半导体工艺设备汇总_新材料在线-新材料行业第… 20210311
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